我院科教实践与材料分析创新中心与先进润滑与密封材料研究中心共享设备聚焦离子/电子双束系统（Focused Ion/Electron Beam，FIB）已安装调试完成，并将于2021年5月12日起对校内外开放运行。聚焦离子电子双束系统（FIB）可以在金属、半导体、电介质、多层膜结构等固体样品上进行微纳结构加工，TEM样品制备，离子束刻蚀、离子束沉积、电子束沉积。同时，配备能谱和EBSD系统，可用于材料物相及结构的快速高质量分析。设备信息及开放运行安排如下：
设备名称 |
聚焦离子/电子双束系统（FIB） |
设备型号 |
FEI Helios G4 CX |
技术参数 |
电子束 |
电子枪类型 |
肖特基场发射灯丝 |
分辨率 |
15kV |
1kV |
0.8nm |
1.2nm |
离子束 |
离子源种类 |
液态Ga离子源 |
分辨率 |
15kV |
2.5nm |
样品要求 |
样品类型 |
非磁性块体和非粉末材料 |
样品尺寸 |
长×宽×高≤20×20×10 mm |
设备放置地点 |
研究生东馆101室 |
开放时间 |
每周三、四、五8:00-12:00、14:00-18:00 |
收费标准 |
电子束 |
400元/小时 |
离子束 |
暂不开放 |
联系方式 |
联系人 |
侯琴 |
联系电话 |
15829738390 |
预约方式 |
线上预约，网址：http://smarc.nwpu.edu.cn/vue/xgd/ |
